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行业资讯

产品信息

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质量流量控制系统DGS03

2017-05-19 12:30:01 436次浏览
价 格:面议

[主要关键词:质量流量控制系统 DGS03 控制测量气体质量流量]

质量流量控制系统DGS03主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:微电子工艺设备、,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为: MAC地址:32;RS485通信波特率:19200; 控制方式:数字。

∮主要技术参数:

流量规格(N2) (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

准确度 ±1.0% S.P . (35% F.S.)

±0.35% F.S. (<35% F.S.)

线性 ±0. 5% F.S.

重复精度 ±0.2% F.S.

工作压差范围(<0.02MPa) 0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM

0.1~0.35Mpa

流量规格10SLM

温度系数 零点:≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃

耐压 3MPa

响应时间 ≤2sec

漏率 1×10-10pa.m3/sec He

密封材料 氟橡胶; 氯丁橡胶

工作环境温度 (5~45) ℃